(原标题:独家电报|ASML全新EUV光刻机将于2021年中期发货) 《科创板日报》14日讯,《科创板日报》记者从ASML获悉,其公布了EUV路线图上的新机型TwINSCANNXE:3600D的最终规格,这是30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆,提高了18%的生产率,并改进机器匹配套准精度至1.1纳米,并计划于2021年的中期开始发货。(记者 戚夜云) 延伸阅读 美国要向阿里下黑手?英媒:美拟将蚂蚁集团列入实体清单 法拉第未来获3亿元融资,贾跃亭的FF91要准备量产了 两天降价两次?马斯克称Model S将降至69420美元